电子及半导体制造业者对静电释放与微粒污染损害所需付出的费用相当惊人，从统计资料中知悉，全球每年因静电释放(Electrostatic Discharge, ESD)所酿成之损坏成本负担估计高达9亿美元，有些专家认为实际上的损失还会更高。因此对于环境控制室(无尘室)的要求与品质与日俱僧。 由于无尘室内的空气通常须保持在相对湿度45%的干燥状态，因此容易产生静电；静电在半导体制程上诱发不良的作用主要有两大类，一为引发微粒污染，在各种无尘室的微粒污染源中占第五位，约5%，另一为静电释放(ESD)...

发布时间：2026-11-07 浏览量：0